9.3.8 检查室门垫片 室门垫片对于保持良好的真空室至关重要警告：有燃烧的危险！警告：腔室垫圈会导致系统出现真空泄漏。检查密封面内部和外部密封条是否有裂纹或碎屑时。请及时更换。这种垫片的平均寿命为 8-12 个月。检查腔室垫圈并执行以下步骤： 1 小心地从反应室中取出垫圈。 2 将两侧拉开以查看裂缝中的密封面。如果有裂缝，反应离子刻蚀机 等离子正常放电压力范围:4~50 pa更换垫圈，无论多么小。 3 检查外密封珠是否有裂纹。如果发现，更换垫圈。
需要使用流动性聚合物另外为了捕获照片中的碳以获得一些聚合物，反应离子刻蚀和等离子刻蚀需要添加易于形成等离子体的气体作为蚀刻剂，例如 CHF3、N、CH4。同时，等离子工业清洗剂也大量使用，分析铝金属蚀刻中的BCl3气体，主要目的是BCl3与[O]、[H]离子、反应室及后续有极好的反应性。去除反应过程中产生的[O]和[H]离子。
利用直流或射频磁控反应溅射技术, 通过光谱法控制ITO膜沉积速率, 能够获得均匀一致的可见光透射比和电导率的ITO膜导电玻璃。然而要生产出高质量的LCD, 还要求ITO膜层针孔少, 表面无颗粒, 膜层粘附力强。如果表面有颗粒、大面积针孔或粘附力不强而脱落, 将会在液晶显示屏上出现暗点或暗斑, 严重影响LCD的质量。用常规清洗烘干处理玻璃基片, 很难彻底清除吸附在表面的异物。
此外，反应离子刻蚀机 等离子正常放电压力范围:4~50 pa难粘材料表面在等离子体的高速冲击下，分子链发生断裂交联，使表面分子的相对分子质量增大，改善了弱边界层的状况，也对表面粘接性能的提高起到了积极作用”。反应型等离子体活性气体主要是02、H：、NH3、C02、H20、S02、H√H20、空气、甘油蒸汽和乙醇蒸汽等。。
